韩国自研EUV光刻胶新进展:灵敏度提高,可加快芯片生产速度!

据韩媒TheElec报道,韩国企业Dongjin Semichem东进世美肯在EUV光刻胶的研发上取得了新突破,其光学灵敏度得到了提升,有助于加快芯片生产的速度。这一消息是在5月19日举办的SEMI SMC Korea 2023芯片行业峰会上公布的。


东进世美肯改进了其光刻胶的分辨率、线宽粗糙度、灵敏度。在灵敏度方面,其EUV光刻胶曝光所需要的能量从2020年的80mj/cm2,降低到了如今的40mj/cm2至50mj/cm2之间,灵敏度几乎提高了一倍。




外媒表示,光刻胶灵敏度的提升,有助于帮助芯片代工厂每小时处理更多的晶圆,从而提高生产效率,降低制造成本。


目前除了韩国的东进世美肯以外,日本公司JSR、信越化学、东京应化工业,也有能力生产EUV光刻胶。


目前,半导体集成电路(IC)依靠先进制程突破实现性能迭代日渐减缓,封装形式的改进更多地受到业界关注。传统封装正在向以FC、FIWLP、FOWLP、TSV、SIP等先进封装转型。先进封装有望成为后摩尔时代的主流方向。


先进封装具备制造成本低、功耗较小等优势,将带来产业链多环节的价值提升,以Chiplet(芯粒)技术为例,通过对芯片的解构与重构集成,重塑了从上游EDA、IP、设计至下游封装、材料的全环节价值链,为多个环节带来新的技术挑战与市场机遇。Yole数据显示,2021年全球封装市场规模约达777亿美元。其中,先进封装全球市场规模约350亿美元,预计到2026年先进封装的全球市场规模将达到475亿美元。


国内外封测龙头日月光、安靠、长电科技、通富微电、华天科技等布局Chiplet业务,英特尔、AMD、华为也积极参与。全球半导体封装材料的主要供应商包括日本信越化学、住友化工、德国巴斯夫、美国杜邦等公司,占据主要市场份额。随着中国Fab工厂陆续建成投运,且先进封装工艺对材料的要求不断提高,未来IC封装材料市场增长空间巨大。 


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